采样条件的确定对表面微观几何形状误差评定的准确性有重要影响。针对现实中用户依据自身经验选择采样条件的不确定性，提出了一种能够客观判定最佳采样条件的方法。基于二维功率频谱分析，考虑奈奎斯特采样定理与混叠效应，提出一个归一近似因子来确定合适采样条件。经实验验证其适用于碳纤维复合材料表面形貌测量，研究证明用较大采样间距多次测量加工后工件的表面形貌，取粗糙度值的平均值或S5、Sp和Sr取最大值来评定其表面质量更合理。