SiBAlON 陶瓷前驱体的制备与裂解
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中国科学院化学研究所高技术材料实验室

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TB3

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Preparation and Characterazation of SiBAlON Ceramic Precursors
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    摘要:

    以聚铝氧烷为铝源ꎬ聚硼硅氮烷兼作硼源和硅源ꎬ共混得到SiBAlON 陶瓷前驱体ꎬ经高温裂解得
    到SiBAlON 陶瓷ꎮ 采用TGA 和XRD 对SiBAlON 前驱体的裂解行为及陶瓷产物晶相结构进行表征ꎮ 结果表
    明ꎬAl 的引入降低了陶瓷的结晶温度ꎬ当陶瓷中的Al 含量为10wt%时ꎬ1 300℃ 处理后析出β-Si3 N4 晶体ꎬ1
    500℃时ꎬ陶瓷中的Al 和O 与无定型的Si-N 结合生成出现Si2N2O 和Si3 Al3 O3+1.5x N5-x结晶ꎬ1 700℃时Al 和O
    与结晶的β-Si3N4固溶生成β’ -SiAlON 结晶ꎬ最终陶瓷产物晶相组成为Si2 N2 O/ Si3 Al3 O3+1.5x N5-x / β’ -SiAlONꎮ
    对陶瓷的介电性能进行研究表明ꎬ温度<1 000℃时ꎬ其介电常数和介电损耗较为稳定ꎬ分别约为3 和<0.004ꎮ

    Abstract:

    SiBAlON ceramic precursors were prepared by blending polyaluminoxane and polyborosilazaneꎬwhich
    were used as aluminumꎬsilicon and boron sourceꎬrespectively.The precursor could be transformed into SiBAlON ce ̄
    ramic during the pyrolysis process and its pyrolytic behavior and phase composition were studied by TGA and XRD.
    Results indicated that the phase composition of the ceramic sample is strongly affected by the Al content of the ceram ̄
    ic.The ceramic with a Al content of 10wt% remained amorphous until β-Si3N4 initially generated at 1 300℃.Heating
    to 1 500℃ led to the formation of Si2N2O and Si3Al3O3+1.5x N5-x via reaction of Al and O with amorphous Si-N.Further
    heating to 1 700℃ led to the formation of β’ -SiAlON via reaction of Al and O with β-Si3N4.The obtained SiBAlON
    ceramic has excellent dielectric property at room and high temperature.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

叶 丽1 李远超1 孙妮娟2 王立敏2 赵 彤1.SiBAlON 陶瓷前驱体的制备与裂解[J].宇航材料工艺,2016,46(3).

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  • 在线发布日期: 2016-11-28
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