多弧离子镀Cr/Cr2O3薄膜红外及可见光谱特性

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多弧离子镀Cr/Cr2O3薄膜红外及可见光谱特性
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CSTR:
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作者:
                        
                        
                    
作者单位:北京航空航天大学理学院,北京,100191%北京有色金属研究总院,北京,100088
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Infrared Optical Spectral Properties of Cr/Cr2O3 Thin Films Prepared by Multi-Arc Ion Deposition

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采用多弧离子镀制备了具有不同色彩的Cr/Cr2O3薄膜,利用紫外-可见光分光光度计研究了薄膜在可见和红外波段的光谱特性,利用SEM进行薄膜表面结构和形貌的分析,利用四探针测阻仪测试了样品的方块电阻,利用红外发射率测量仪测试了样品的红外发射率.结果表明:Cr/Cr2O3薄膜具有丰富的色彩,在可见光区有明显的反射峰,可见光区光谱特性主要受膜厚的影响,方块电阻随膜厚增加而有变大,样品的红外发射率主要取决于金属层,平均红外发射率最小降至0.371.

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向远博%刁训刚%郝雷%顾宝霞.多弧离子镀Cr/Cr2O3薄膜红外及可见光谱特性[J].宇航材料工艺,2008,38(5).

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