分别在室温和基片温度低于223 K的条件下,采用直流反应磁控溅射法制备WO3薄膜.对两种条件下制备的薄膜晶体结构、透射光谱特性及电致变色性能进行对比分析.结果表明,低温沉积有利于WO3薄膜非晶化,使得Li+的抽取更加容易,进而显示出良好的变色性能.低温制备的WO3薄膜在可见光400～800 nm范围内着色态和漂白态平均透光率差值达70%以上,在690 nm处的着色系数达到了48.7 cm2/C,具有良好的变色效率.