采用ZDH-100型号离子束复合沉积设备沉积WS2-Ti-Ag复合薄膜,基材为轴承钢和单晶硅(100)。采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪,检测复合薄膜的表面形貌、微观结构。采用球-盘式摩擦磨损试验机,对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究。结果表明:采用离子束辅助沉积技术制备的WS2-Ti-Ag复合薄膜是非晶态薄膜;并且随法向载荷的增加,复合薄膜的摩擦因数减小,摩擦状态越稳定,耐磨寿命越短。