CVD-Si3N4陶瓷及其复合材料氧化行为研究进展

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CVD-Si3N4陶瓷及其复合材料氧化行为研究进展
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作者:
                        
                        
                    
作者单位:陕西非金属材料工艺研究所,西安,710025
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Oxidation Behavior of CVD Si3N4 Ceramic and Its Composite

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概述了CVD-Si3N4陶瓷及其复合材料在干燥氧气下的氧化行为.Si3N4陶瓷在高温下氧化时,除生成SiO2保护膜外,还生成一薄层比SiO2膜更优异的氧气扩散阻挡层(Si-O-N化合物层),该层具有优异的抗氧化性能.介绍了两种氧化机制模型,同时分析了温度、杂质等对CVD-Si3N4陶瓷氧化行为的影响.

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余惠琴%闫联生. CVD-Si3N4陶瓷及其复合材料氧化行为研究进展[J].宇航材料工艺,2003,33(3).

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