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纳米薄膜脉冲激光沉积技术
李美成%赵连城%杨建平%陈学康%吴敢
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,%兰州物理研究所激光分子束外延技术实验室,
摘要:
简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果.
关键词:  脉冲激光沉积%纳米薄膜%激光分子束外延(L-MBE)%红外探测器
DOI:
分类号:
基金项目:
Pulsed Laser Deposition of Nanometer Thin Films
Abstract:
Key words: