%0 Journal Article %T 纳米薄膜脉冲激光沉积技术 %T Pulsed Laser Deposition of Nanometer Thin Films %A 李美成%赵连城%杨建平%陈学康%吴敢 %J 宇航材料工艺 %J Aerospace Materials & Technology %@ 1007-2330 %V 31 %N 4 %D 2001 %P - %K 脉冲激光沉积%纳米薄膜%激光分子束外延(L-MBE)%红外探测器 %K %X 简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果. %X %R %U http://www.yhclgy.com/yhclgy/home %1 JIS Version 3.0.0