TY - JOUR ID - 10.12044/j.issn.1007-2330.2019.04.018 TI - 多光谱CVD硫化锌材料的磨削去除机理 AU - 陈冰 AU - 焦浩文 AU - 罗良 AU - 邓朝晖 AU - 赵清亮 VL - 49 IS - 4 PB - 《宇航材料工艺》编辑部 SP - 93 EP - 97 PY - JF - 宇航材料工艺 JA - YHCLGY UR - http://www.yhclgy.com/yhclgy/home?file_no=201904018&flag=1 KW - 多光谱CVD硫化锌;压痕;刻划;磨削 KW - Multispectral CVD zinc sulfide;Indentation;Scratching;Grinding AB - 为了探究红外光学材料多光谱CVD硫化锌的磨削加工去除机理,对抛光后的多光谱CVD硫化锌材料进行显微压痕和金刚石单颗粒刻划实验研究,并采用金刚石砂轮对材料进行磨削加工。实验研究表明,多光谱CVD硫化锌材料在机械去除过程中出现了弹性和塑性变形现象,萌生的裂纹和破碎主要沿晶界、刻划方向、磨削纹理方向扩展,小的压力可抑制裂纹的萌生和扩展,采用尖头金刚石颗粒可获得破碎和裂纹更少的表面,采用垂直磨削法,磨削后形成了自中心至外缘呈周期性、散射状的磨削纹理。本研究可为多光谱CVD硫化锌红外透镜的精密、超精密加工提供技术依据。 ER -