TY - JOUR ID - 10.12044/j.issn.1007-2330.2019.04.013 TI - 不同晶体取向单晶锗的力学性能 AU - 刘宁 AU - 杨晓京 AU - 刘浩 AU - 余证 VL - 49 IS - 4 PB - 《宇航材料工艺》编辑部 SP - 67 EP - 72 PY - JF - 宇航材料工艺 JA - YHCLGY UR - http://www.yhclgy.com/yhclgy/home?file_no=201904013&flag=1 KW - 单晶锗;纳米压痕;塑性变形;尺寸效应 KW - Single crystal germanium;Nanoindentation;Plastic deformation;Size effect AB - 为了研究微纳米尺度下单晶锗的力学特性,采用纳米压痕仪对单晶锗(100)(110)和(111)晶面进行了纳米压痕实验,并通过原子力显微镜对材料表面进行了观测。根据单晶锗各晶面的位移-载荷曲线,对单晶锗各晶面的弹性回复率、硬度、弹性模量与压入深度之间的关系进行了分析。结果表明:单晶锗在加载过程中分别经历了弹性变形、塑性变形和脆性变形三个阶段。当压入深度超过500 nm时,加载曲线上有突进点产生;当压入深度超过100 nm时,卸载曲线上有突退点产生。单晶锗的残余压痕形貌表现为凸起状,表明单晶锗具有较低的加工硬化趋势。当压入深度达到100 nm时,单晶锗表现出明显的尺寸效应,且单晶锗(111)晶面具有最低硬度和弹性模量值。表明相对于其他两个晶面,单晶锗(111)晶面具有更好的塑性变形能力。 ER -