TY - JOUR ID - 10.12044/j.issn.1007-2330.2019.04.005 TI - 冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证 AU - 朱徐立 AU - 徐隆 AU - 苏骑 AU - 吴虹琼 VL - 49 IS - 4 PB - 《宇航材料工艺》编辑部 SP - 23 EP - 27 PY - JF - 宇航材料工艺 JA - YHCLGY UR - http://www.yhclgy.com/yhclgy/home?file_no=201904005&flag=1 KW - 多晶硅;冶金法;退火;建模;试验 KW - Polycrystalline-silicon;Metallurgical method;Annealing;Mathematical modeling;Experiment AB - 冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线。数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大于产生位错的临界应力;采用加热元件对硅铸锭适当加热保温可减缓降温速率。通过比较,选择较低的退火温度1 236℃和较短的退火时间8.52 ks作为试验退火温控方案。试验验证表明,该退火方案得到的多晶硅铸锭目视裂纹较少,少数载流子寿命与电阻率具有明显优势。 ER -